离子注入

中电科电子装备集团有限公司，中国电子科技集团旗下的子公司，最近宣布成功实现了离子注入装备28纳米工艺制程的全覆盖。这一成就对于我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全具有重要意义。28纳米工艺制程在芯片应用领域中非常重要，而离子注入机则是制造这些芯片的关键设备之一。